所谓准分子激光，是指受激二聚体所产生的激光。之所以称为准分子，是因为它不是稳定的分子，是在激光混合气体受到外来能量的激光所引起的一系列物理及化学反应中曾经形成但转瞬即逝的分子，其寿命仅为几十毫微秒，准分子激光是一种脉冲激光，因谐振腔内充入不同的稀有气体和卤素气体的混合物而有不同波长的激光产生。波长范围为157-353nm。
激光屈光性角膜手术所用的工作气体为ArF，所产生的是193nm的准分子激光，它是一种超紫外线光波，每一发激光到组织时，可以使组织分子气化，因此它的准确度非常高，而且因为它是一种冷激光，所以对于被照射部位旁边的组织不产生热效应，靠着这种准确的气化，可以把眼角膜精确的切去一层，但对角膜的构造不会产生不良的效应。
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